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溅射靶材应该如何保养
来源:昆山世高新材料科技有限公司         发布时间:2017-11-30

靶材应该如何保养?

 


一、靶材保养

为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以*大功率密度进行溅射。

 


二、靶材储存

我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议*少需要包装在洁净的塑料袋中。

 


三、靶材清洁

 


第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

第二步与第一步类似用酒精清洁;

第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

 


四、短路及密封性检查

靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象

 


五、包装和运输

所有靶材包装在真空密封塑料袋中,并附有防潮剂。外包装一般为木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。

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