绑定完成的硅成品靶材	使用完的硅靶

硅靶溅射过程中，容易开裂。我公司在多次实验基础上，提出了几点改善措施：a、改善绑定模具，减少焊接过程中的氧化，严格控管焊接质量；b、在磁通量大的地方改变分割方式，减少内应力的集中。